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                    關于納米壓痕儀的那些問題解答

                    發布時間:2022-08-26      點擊次數:24
                       納米壓痕儀是精確、靈活、易于使用的納米力學測試儀器。電磁驅動器具有很好的力和位移動態范圍,可以測量納米到毫米級的變形。應用范圍包括:半導體、薄膜及MEM(晶圓應用)、硬膜及DLC薄膜;復合材料,纖維,聚合物,金屬,陶瓷;生物材料與生物學。
                     
                     ?、偌{米壓痕設定,幾種模式有何不同?
                     
                      納米壓痕可分為靜態位移控制、靜載荷控制和連續剛度控制。
                     
                      連續剛度只能設定位移,而不能設定載荷,可得到彈性模量、硬度隨位移變化值。系統設定的時間是固定的,一般只有幾秒鐘。
                     
                      靜態位移控制模式,靜態負載控制模式,可設定至最大位移或最大載荷時,可設定較長時間,一般系統默認每點為15秒,也可設定較長,如30、40秒,但時間越長,收費越高;負載模式可控制保載時間,一般默認為10秒,如有特殊要求可適當增加時間或適當增加;位移模式不可;靜態模式不能得到彈性模量、硬度隨位移變化的變化,只能得到該點在該深度或載荷作用下的彈性模量及硬度值;
                     
                     ?、跒槭裁醇{米壓痕沒有100%卸載?
                     
                      納米壓痕卸載一般在90%以上,如果用負載控制的測試方法,將卸載率設定為100%,那么就有可能出現熱漂移(卸載后的位移會出現負值);
                     
                     ?、蹓汉壑睆脚c深度之間的關系?
                     
                      納米壓痕測試壓痕直徑與壓痕深度之間存在一定的轉換關系:一般用概值估算壓痕直徑=7.5×壓痕深度;
                     
                     ?、芗{米壓痕的壓痕位置無法從圖片中看出?
                     
                      因為1)由于壓痕位置上的壓痕位置上的材料本身回彈,2)樣品表面顏色較深,不太干凈也會造成壓痕位置不清楚;
                     
                     ?、輭侯^材料?壓頭前端曲率?
                     
                      金剛石材料,玻纖壓頭;新壓頭一般小于20納米但時間長了肯定會很大,可能是100納米;
                     
                      

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